為工業(yè)和材料學(xué)應用而設計

奧林巴斯金相顯微鏡BX53M系列采用了模塊化設計，為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強了與奧林巴斯Stream軟件的集成性，從而為常規顯微鏡檢查和數碼成像用戶(hù)提供了從觀(guān)察到報告創(chuàng )建的無(wú)縫工作流程。

高級的顯微觀(guān)察 便捷的顯微操作

用戶(hù)友好性

·讓傳統技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器

·直觀(guān)的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設置

·快速找到焦點(diǎn)：對焦刻度標尺

·一致的照明：智能光強管理

·方便而人性化的操作

·可恢復顯微鏡設置：編碼硬件

·基本測量功能

功能性

·讓未見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn)：MIX觀(guān)察

·創(chuàng )建超景深圖像：EFI

·輕松移動(dòng)載物臺即可進(jìn)行全景拍攝：即時(shí)MIA

·同時(shí)捕捉高光和暗調區域的細節：HDR

·可調整滿(mǎn)足觀(guān)察和分析的偏好要求

·容納各類(lèi)樣品

精密的光學(xué)元件

·優(yōu)良的光學(xué)性能：波像差控制

·穩定的色溫和高強度白光LED照明

·支持精密測量：自動(dòng)校準

·無(wú)縫拼接：圖像陰影校正

全面可定制性

·可滿(mǎn)足用戶(hù)要求的各種配置

·模塊化設計，構建自己的系統

直觀(guān)的顯微鏡控制

顯微檢查任務(wù)常常需要用很長(cháng)的時(shí)間來(lái)調節顯微鏡設置、獲取圖像，以及進(jìn)行必要的測量，從而得到令人滿(mǎn)意的報告。用戶(hù)有時(shí)需要投入時(shí)間和金錢(qián)去完成專(zhuān)業(yè)的顯微鏡培訓，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開(kāi)展工作。

奧林巴斯工業(yè)顯微鏡BX53M通過(guò)其優(yōu)良的設計和便捷的控制功能，簡(jiǎn)化了復雜的顯微檢查任務(wù)。用戶(hù)不需要長(cháng)時(shí)間的培訓即可掌握顯微鏡的大多數功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現性，大程度減少了人為錯誤。

舒適且便于使用

讓傳統技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器

照明器的設計大程度減少了顯微鏡操作過(guò)程中所必須的復雜操作。照明器前端的旋鈕使用戶(hù)能夠輕松地改變觀(guān)察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時(shí)快速切換常用的觀(guān)察方法，比如從明場(chǎng)觀(guān)察到暗場(chǎng)觀(guān)察，到偏光觀(guān)察，以隨時(shí)改變不同類(lèi)型的分析。此外，可以旋轉檢偏鏡來(lái)實(shí)現簡(jiǎn)單偏光觀(guān)察的調節。

操作者能夠在經(jīng)常使用的觀(guān)察方法之間快速切換（AlSi的拋光態(tài)樣品）

直觀(guān)的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設置

使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設置能夠獲得良好的圖像對比度，還可以充分利用物鏡的數值孔徑。指示標志可引導用戶(hù)根據觀(guān)察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設置。

快速找到焦點(diǎn)：對焦刻度標尺

機架上的對焦刻度標尺可以讓操作者快速鎖定焦點(diǎn)。操作者不用通過(guò)目鏡查看樣品就可以大致地對準焦點(diǎn)，從而在檢查具有不同高度的樣品時(shí)節省了時(shí)間。

一致的照明：智能光強管理

在初始設定時(shí)，可以調節照明強度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉換器的特定硬件配置匹配。

傳統的光強

傳統顯微鏡中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光線(xiàn)的觀(guān)察方法后，圖像會(huì )變得更暗。

智能光強管理

改變放大倍率或觀(guān)察方法時(shí)，顯微鏡自動(dòng)調節光強到正確值。

方便而人性化的操作

人性化設計對所有用戶(hù)都至關(guān)重要。無(wú)論是單機顯微鏡用戶(hù)，還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統用戶(hù)，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設計的手動(dòng)控制器。簡(jiǎn)單的手動(dòng)開(kāi)關(guān)讓用戶(hù)能夠專(zhuān)注于樣品和檢查工作本身。

用于旋轉電動(dòng)物鏡轉換器的手動(dòng)開(kāi)關(guān)  手動(dòng)控制器     曝光按鈕

可恢復顯微鏡設置：編碼硬件

BX53M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀(guān)察方法、照明強度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里。編碼功能可實(shí)現顯微鏡設置與每幅圖像一起自動(dòng)保存，從而可輕松完成此后的還原設置，以及為報表提供文檔記錄。既節省了操作者的時(shí)間，又大程度地減小了使用不正確設置的概率。當前的觀(guān)察設置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上。

針對各種檢查和分析任務(wù)的功能

BX53M保留了常規顯微鏡檢查的傳統襯度對比法，比如明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光和微分干涉。隨著(zhù)新材料的發(fā)展，現在可以使用的顯微鏡檢查技術(shù)來(lái)進(jìn)行更精確和更可靠的檢查，從而解決了以往很多使用傳統襯度對比法檢查時(shí)遇到的缺陷檢測方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林巴斯Stream圖像分析軟件內的圖像獲取選項為用戶(hù)提供了評估樣品、文檔記錄的更多選擇。

此外，BX3M還可用于比傳統型號更大、更重、更特殊的樣品。

MIX觀(guān)察：讓未見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn)

BX3M的MIX觀(guān)察技術(shù)組合了明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源，以定向暗場(chǎng)光線(xiàn)照射樣品。這種方式類(lèi)似于傳統暗場(chǎng)照明，但又可為L(cháng)ED的不同角度光線(xiàn)照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光、或偏光的組合稱(chēng)為MIX照明，有助于突出顯示缺陷和區分隆起與凹陷表面。

傳統的

明場(chǎng)將光線(xiàn)直接照射在樣品上，暗場(chǎng)則使光線(xiàn)沿物鏡的周?chē)鷱膫让嬲丈錁悠�，突出顯示了劃痕和缺陷。

MIX

MIX觀(guān)察是通過(guò)一個(gè)環(huán)形LED光源來(lái)形成明場(chǎng)、熒光或偏光與定向暗場(chǎng)的組合�？梢哉{節LED光源，選擇從哪個(gè)方向進(jìn)行照明。該方法可在傳統方法無(wú)法觀(guān)察的表面上獲得獨有的對比度并可突出表面特征。

即時(shí)MIA：輕松移動(dòng)載物臺即可進(jìn)行全景拍攝

現在不需要電動(dòng)載物臺，僅僅移動(dòng)手動(dòng)載物臺上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識別技術(shù)來(lái)生成全景圖像，為用戶(hù)提供了比單一畫(huà)面更廣闊的視野。

一枚硬幣的即時(shí)MIA圖像。

EFI：創(chuàng )建超景深圖像

奧林巴斯Stream軟件的景深擴展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過(guò)物鏡焦深的樣品圖像，把通過(guò)不同焦面的圖像疊加在一起，創(chuàng )建出一幅超景深圖像�？梢允褂檬謩�(dòng)或電動(dòng)Z軸機構來(lái)執行EFI，并可創(chuàng )建一幅高度圖，以輕松地識別樣品結構。也可以用Stream桌面版在離線(xiàn)時(shí)創(chuàng )建EFI圖像。

HDR：同時(shí)捕捉高光和暗調區域的細節

高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）使用了的圖像處理技術(shù)，能夠針對一幅圖像內的亮度差異進(jìn)行調節，從而減少了眩光。HDR改善了數字圖像的視覺(jué)效果，從而為用戶(hù)制作報告時(shí)提供專(zhuān)業(yè)的圖像。

借助HDR功能，同時(shí)清晰呈現出高光和暗調區域的細節
（樣品：燃油噴射器）

借助HDR功能，增強了對比度
（樣品：鎂切片）

測量

常規或基礎測量功能

通過(guò)奧林巴斯Stream軟件可以實(shí)現多種測量功能，從而使用戶(hù)可以很輕松地從圖像中獲取有用的數據。在質(zhì)量控制和檢查時(shí)常常需要對圖像進(jìn)行測量。所有級別的奧林巴斯Stream 授權軟件都包括了交互式的測量功能，比如距離、角度、矩形、圓、橢圓和多邊形。所有測量結果都與圖像文件一起保存，用于今后的文件檢索。

計數和測量

目標探測和尺寸分布測量，是數碼圖像中重要的應用。Stream軟件使用閾值分割方法進(jìn)行目標探測，能夠可靠地從背景中分離目標（比如顆粒、劃痕）。

材料解決方案

奧林巴斯Stream軟件提供了基于工作流程的直觀(guān)界面，可用于復雜的圖像分析。點(diǎn)擊按鈕即可快速、精確地執行復雜的圖像分析任務(wù)，并且符合常用的工業(yè)標準。由于明顯減少了重復任務(wù)的處理時(shí)間，因此材料學(xué)家們可以專(zhuān)注于分析和研究。還能夠在任何時(shí)候方便地添加用于夾雜物和標準評級圖對比的模塊化插件。

3D測量

使用外部電動(dòng)對焦機構時(shí)，可以快速獲取EFI圖像，并以3D視圖顯示。獲取的高度數據可用于剖面上的3D測量，或通過(guò)單視圖進(jìn)行3D測量。

3D表面視圖（粗糙度試驗樣品）            單視圖和3D剖面測量

容納各類(lèi)樣品

可以容納更多的樣品類(lèi)型和尺寸

新型150×100mm載物臺在X方向上提供了比以前的型號更大的行程。再加上其載物臺板的平板式設計，可以輕松地將大樣品，或多個(gè)樣品放置在載物臺上。載物臺板上開(kāi)有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺為用戶(hù)提供了靈活性，使他們能夠在一臺顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節省了寶貴的實(shí)驗室空間�？烧{節扭力的載物臺方便了高倍下窄視野的微調定位。

樣品高度和重量的高適應性

BX53MRF-S

使用選配的模塊組件可以將最高105mm的樣品放置在載物臺上。由于改進(jìn)了調焦機構，因此顯微鏡可以容納最重6kg的總重量（樣品+載物臺）。這就意味著(zhù)BX3M可以檢查更大、更重的樣品，從而減少了實(shí)驗室內所需的顯微鏡數量。通過(guò)戰略性地將用于6英寸晶圓的旋轉托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內移動(dòng)時(shí)，用戶(hù)僅旋轉晶圓托架即可觀(guān)察整個(gè)晶圓表面。優(yōu)化了載物臺的扭力調節，以便于使用，舒適的手柄使用戶(hù)更易于找到樣品的感興趣區域。

樣品尺寸大小的靈活性

BXFM

如果樣品太大，難以放置在常規顯微鏡載物臺上，則可以把用于反射光顯微鏡觀(guān)察的核心光學(xué)部件組裝到一個(gè)模塊化的系統里。這種模塊化系統，就是BXFM，它可以通過(guò)一個(gè)支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺儀器上。這就使用戶(hù)能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢，即使其樣品在尺寸或形狀上都很獨特。

悠久歷史的尖端光學(xué)技術(shù)

奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學(xué)儀器研發(fā)的悠久歷史，創(chuàng )造了多項光學(xué)質(zhì)量的記錄，保證了顯微鏡優(yōu)異的測量精度。

卓越的光學(xué)性能：波像差控制

使用顯微鏡進(jìn)行高級研究或系統集成時(shí)，所有物鏡的光學(xué)性能必須標準化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制，大程度減小了會(huì )降低分辨率的像差，從而獲得領(lǐng)先的數值孔徑（NA）和工作距離（WD）性能指標。

穩定的色溫和高強度白光LED照明

BX3M為反射光和透射光照明提供了高強度的白光LED光源。無(wú)論強度是多少，LED都保持著(zhù)一致的色溫。LED提供了高效而長(cháng)壽命的照明，是材料學(xué)檢測應用的理想工具。

 
通過(guò)鹵素燈獲得的高光強和低光強        通過(guò)LED獲得的高光強和低光強

支持精密測量：自動(dòng)校準

類(lèi)似于數碼顯微鏡，使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)也能夠實(shí)施自動(dòng)校準。自動(dòng)校準消除了校準過(guò)程中的人為變化因素，能夠獲得更可靠的測量結果。自動(dòng)校準的算法采用多個(gè)測量點(diǎn)的平均值來(lái)自動(dòng)計算正確的校準量。這就大程度減小了不同操作者產(chǎn)生的差異，保持了一致的精確性，提高了定期驗證的可靠性。

無(wú)縫拼接：圖像陰影校正

可以用奧林巴斯Stream軟件完成陰影校正，以補償圖像角落四周的陰影。使用光強閾值設置時(shí)，陰影校正提供了更精確的分析。此外，使用MIA拼接圖像時(shí)，可以獲得更均勻的全景圖像。

1 x 3 MIA圖像 (示例:薄膜濾色片上的殘留)

左側圖片：圖像拼接時(shí)，原始圖像拼接處有陰影 
右側圖片：陰影校正后，整個(gè)視野照明均勻

應用

反射光顯微鏡檢查涵蓋的應用和行業(yè)非常廣泛，下面僅選擇了使用不同觀(guān)察方法效果的部分示例。

暗場(chǎng)觀(guān)察

暗場(chǎng)能夠觀(guān)察標本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會(huì )反射這種光，而平整的部位則顯得很暗，因此缺陷部位就會(huì )清晰地顯示出來(lái)。用戶(hù)甚至可以識別出極細微的劃痕，或小到8nm級別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。因此，暗場(chǎng)是檢測標本上細微劃痕或缺陷，以及鏡面標本（包括晶圓）的理想工具。

表面貼裝基板：DF

微分干涉觀(guān)察

微分干涉是一種顯微鏡觀(guān)察技術(shù)，這種技術(shù)把明場(chǎng)觀(guān)察所不能檢測到的標本高度差，變?yōu)楦〉駹罨蛉�維圖像，改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光，并有三種專(zhuān)門(mén)定制設計的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細微高度差的標本的理想工具，包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤(pán)介質(zhì)和拋光晶圓表面。

球墨鑄鐵檢測：DIC

偏光觀(guān)察

這種顯微鏡觀(guān)察技術(shù)使用了由一套濾色片（檢偏鏡和起偏鏡）產(chǎn)生的偏光。標本的特性直接影響顯微鏡反射光的強度。這種技術(shù)適用于金相組織（比如球墨鑄鐵上石墨生長(cháng)的形態(tài)）、礦石、LCD和半導體材料。

絹云母：POL

熒光

該技術(shù)用于通過(guò)專(zhuān)用濾色片激發(fā)塊照明，使標本能夠發(fā)出熒光（發(fā)出不同波長(cháng)的光），特定的激發(fā)塊可用于特定的應用。它適合于檢查半導體晶圓上的異物、光阻殘留物，以及通過(guò)熒光染料檢測裂縫�？梢赃x配復消色差集光鏡系統的燈箱，以補償從可見(jiàn)光到近紅外光的色差。

半導體晶圓上的顆粒異物：FL

紅外光

IR觀(guān)察是非破壞性地檢查可以透過(guò)紅外光的硅材料或玻璃材料構成的電子元器件內部的首選方法。

電極切片：IR

透射光觀(guān)察

對于透明樣品，比如LCD、塑料和玻璃材料，可以使用各種聚光鏡進(jìn)行透射光觀(guān)察。組建一個(gè)光學(xué)系統，實(shí)現透射光明場(chǎng)和偏光進(jìn)行樣品檢查非常方便。

完全系統化

模塊化的設計能夠實(shí)現多種配置，以滿(mǎn)足用戶(hù)的各種要求。

用于材料學(xué)的配置

BX53M反射和反射/透射觀(guān)察

BX53M IR觀(guān)察

BX3M系列有兩種顯微鏡機架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件。

BX53MRF-S配置圖例         BX53MTRF-S配置圖例

BX53M IR觀(guān)察

BX3M系列有兩種顯微鏡機架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件。IR物鏡可用于透過(guò)硅材料成像，進(jìn)行半導體檢查和測量。配備了5倍到100倍紅外（IR）物鏡，提供了從可見(jiàn)光波長(cháng)到近紅外的像差校正。對于高放大倍率的物鏡，配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡，校正由樣品厚度導致的像差。使用一個(gè)物鏡即可獲取清晰的圖像。

*1 孔徑光闌全開(kāi)時(shí)計算的分辨率

*2 最高到FN22，不適用于FN26.5

*3 使用1100nm波長(cháng)

IR物鏡           無(wú)校正環(huán)    有校正環(huán)

BX53M偏光觀(guān)察

BX53M偏光顯微鏡具有鮮明的偏光成像，是地質(zhì)學(xué)家的理想之選。比如礦物鑒定、晶體光學(xué)特性的分析和巖石薄片的鑒定等各種研究，都得益于穩定的顯微鏡系統性和精密的光學(xué)系統。

BX53M正像鏡檢偏光配置     BX53M錐光鏡檢偏光配置

用于錐光鏡檢和正像鏡檢的勃氏鏡

采用U-CPA錐光觀(guān)察附件使錐光鏡檢和正像鏡檢之間的切換簡(jiǎn)單而快捷�？梢郧逦�地對焦后焦平面的干涉圖樣。勃氏鏡的視場(chǎng)光闌使其能夠始終獲取銳利而清晰的錐光圖像。

偏光附件

無(wú)應力光學(xué)元件

UPLFLN-P無(wú)應力物鏡得益于奧林巴斯尖端的設計和制造技術(shù)，將內部應力降到了最低。這就意味著(zhù)更高的EF值，從而可以得到卓越的圖像反差。

UPLFLN-P無(wú)應力物鏡

種類(lèi)豐富的補色器和波長(cháng)板

提供了六種不同的補色器，用于測量巖石和礦物薄片的雙折射。測量光程差水平范圍從0到20λ。針對更方便的測量和高圖像反差，可以使用Berek和Senarmont補色器，它們能在整個(gè)視場(chǎng)內改變光程差級別。

補色器的測量范圍

* R=光程差水平

對于大多數精確測量，建議補色器（除U-CWE2以外）與干涉濾色片45-IF546組合使用。

BXFM系統

BXFM適合于特殊應用，或整合進(jìn)其它儀器中。模塊化結構，再加上各種特殊的小型照明器和固定裝置，使其可以直接用于獨特的環(huán)境和配置。

模塊化設計，構建自己的系統

顯微鏡機架

兩種顯微鏡機架可用于反射光；一種還具有透射光觀(guān)察能力。同時(shí)配備了一個(gè)適配器，以抬升照明器，適應更高的樣品。

支架

兩種顯微鏡機架可用于反射光；一種還具有透射光觀(guān)察能力。同時(shí)配備了一個(gè)適配器，以抬升照明器，適應更高的樣品。顯微鏡檢查時(shí)如果樣品不適合放在載物臺上，可以在更大的支架上或其它設備上安裝照明器和光學(xué)元件。

BXFM + BX53M照明器配置

BXFM + U-KMAS照明器配置

鏡筒

使用目鏡進(jìn)行顯微鏡成像，或通過(guò)相機觀(guān)察時(shí)，請根據觀(guān)察過(guò)程中的成像類(lèi)型和操作者的觀(guān)察姿勢選擇鏡筒。

照明器

照明器根據選擇的觀(guān)察方法將光線(xiàn)投射到樣品上。軟件與編碼照明器配套使用，可以讀出分光鏡組件的位置，并自動(dòng)識別觀(guān)察方法。

光源

用于樣品照明的光源和電源，請根據觀(guān)察方法選擇合適的光源。

標準LED光源配置

熒光光源配置

鹵素燈和鹵素IR光源配置

物鏡轉換器

物鏡和滑塊的附件。選擇所需的物鏡數量和類(lèi)型；以及是否帶滑塊附件。

滑塊

選擇DIC滑塊來(lái)補充常規的明場(chǎng)觀(guān)察。采用DIC滑塊后，在獲取有關(guān)樣品的形貌信息時(shí)，可以選擇高對比度型或高分辨率型。MIX組合式照明使用起來(lái)非常靈活，它在暗場(chǎng)光路中提供了分區的LED光源。

用于MIX組合式觀(guān)察的MIX滑塊

控制盒與手動(dòng)控制器

控制盒用于組合使用顯微鏡硬件與PC，手動(dòng)控制器用于硬件狀態(tài)顯示與控制

BX3M-CB（CBFM）配置

U-CBS配置

電纜

載物臺

用于放置樣品的載物臺和載物臺板。根據樣品形狀和尺寸進(jìn)行選擇。

150mm×100mm載物臺配置

100 mm×100 mm載物臺配置

52mm×76mm載物臺配置

其它

相機適配器

用于照相觀(guān)察的適配器�？蓮囊�求的視野和放大倍率中選擇。使用以下公式可以計算實(shí)際的觀(guān)察范圍：實(shí)際視野（對角線(xiàn)mm）= 視野（視場(chǎng)數）÷物鏡放大倍率。

目鏡

用于直接觀(guān)察顯微鏡的目鏡。根據所需的視野進(jìn)行選擇。

濾色片

光學(xué)濾色片可以將照射到樣品的光線(xiàn)進(jìn)行各種類(lèi)型的轉換。根據觀(guān)察需要選擇合適的濾色片。

BF, DF, FL

POL, DIC

IR

透射光

使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR時(shí)不需要AN和PO

其它

聚光鏡

聚光鏡能會(huì )聚和聚焦透射光線(xiàn)。用于透射光觀(guān)察。

分光鏡組件

用于BX3M-URAS-S的分光鏡組件。根據所需的觀(guān)察進(jìn)行選擇。

* 僅用于同軸反射照明

中間鏡筒

用于多種目的的各種類(lèi)型的附件。在鏡筒與照明器之間使用。